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       跑酷董事局> 正文 
      
    
      快播：漢鐘精機：公司半導體真空泵在清潔、中度嚴苛、嚴苛制程都有在推廣使用
      
    
      
      
      
        
       時間： 2023-03-06 16:49:21 來源： 南財快訊 
      
		
      
      
	  
      

      



      

      
    
      
    
       
      
      
      
        
      
          
      
            
       

      (資料圖片)
      漢鐘精機接受機構調研時表示，公司氫能源用空壓泵目前還在研發、驗證階段。公司半導體真空泵在清潔、中度嚴苛、嚴苛制程都有在推廣使用，具體運用于LL、去膠、刻蝕、PVD、CVD等制程。目前多用于相對潔凈的制程。
       
      關鍵詞：      
          
       漢鐘精機 
       

      
              

       
      
             
      

              
            
       責任編輯：QL0009 
      
            
      
              
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