后摩爾定律時(shí)代,芯片制程很難從7nm 縮小到更高制程,先進(jìn)封裝是提高封裝效率的新途徑,通過(guò)以點(diǎn)帶線(xiàn)方式實(shí)現電氣互聯(lián),實(shí)現更高密度集成。SiP及PoP奠定了先進(jìn)封裝時(shí)代的開(kāi)局。
WaferLevelPackaging(WLP,晶圓級封裝)、Flip-Chip(倒晶)、3D封裝,ThroughSiliconVia(硅通孔,TSV)等出現進(jìn)一步縮小芯片間連接距離,提高元器件的反應速度。下圖是封裝主流發(fā)展趨勢:
更先進(jìn)的封裝技術(shù),意味著(zhù)更高的工藝和復雜度,也意味著(zhù)需要更高的質(zhì)量控制和檢測。以Bump為例, Bump高度從200um 降到5um, 一個(gè)die超過(guò) 25,000 個(gè) bumps 。未來(lái)會(huì )提升到50-60,000 個(gè)bumps .。在整個(gè)先進(jìn)封裝中,Wafer-Level Packaging 缺陷檢測,Die的缺陷檢測和分揀,IC芯片的缺陷檢測和分揀都需要光學(xué)元器件有著(zhù)更高的速度和精度響應。
博視像元 Bopixel作為半導體領(lǐng)域高端核心視覺(jué)成像部件供應商,于2023年3月正式推出了應用于半導體先進(jìn)封裝和封測領(lǐng)域缺陷檢測的主動(dòng)成像光學(xué)利器—OPR407系列DLP光機。
OPR407系列光機特點(diǎn):
50mm標準視野,4-200mm 視野可調,覆蓋bump 到BGA 主流尺寸;
4mm 視野下x軸 2um橫向分辨率 ,兼容最小Bump直徑。
藍光模式下,0.05%畸變率,確保大視野下重復精度。
無(wú)風(fēng)扇設計、全金屬結構、無(wú)機械振動(dòng)和電磁干擾 。
沙姆和正投系列,滿(mǎn)足半導體和PCBA行業(yè)多光機單相機或單光機多相機成像模式。
超高速,在12mm 視野下,實(shí)現1小時(shí)掃描22片300mm(13英寸)晶圓速度。
快速簡(jiǎn)單可編程主動(dòng)成像光柵,同時(shí)兼容高精度和高景深應用場(chǎng)景。
多光機串聯(lián)觸發(fā),實(shí)現360度無(wú)死角成像。
緊湊設計、行業(yè)最小尺寸。
全新的OPR 407系列DLP光機,配合博視像元Bopixel的GMAX3265芯片的Fanless高速超大分辨率相機BC-GM65M12X4H 、 GMAX0505 芯片的Fanless 超高速相機、BC-GM2512X4組成的多光機多相機系統,可以實(shí)現Wafer-Level Packaging 、Die的缺陷檢測和分揀、IC芯片的缺陷檢測和分揀,在12mm X 12mm 視野下,可實(shí)現Z軸50nm的超高分辨率缺陷檢測能力 。
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